| 配备有光学测量装置的原子力显微镜和使用其获取关于测量目标的表面的信息的方法 |
| US17535695 2021-11-26 发明授权 |
| 2023-4-4 |
| 公开了一种配备有光学测量装置的原子力显微镜。 一种具备光学测定装置的原子力显微镜，该光学测定装置一边使用支承测定对象物的XY扫描器在XY平面上扫描测定对象物，一边使探针沿着测定对象物的表面移动，从而取得测定对象物的表面的特性，该原子力显微镜具备：光学测定装置，其具备使光射入测定对象物的表面的照明部和检测由测定对象物的表面反射的光的检测部， 所述光学测定装置通过所述XY扫描仪的所述扫描来取得所述测定对象的表面的特性； 以及控制装置，所述控制装置被配置为控制所述原子力显微镜的操作和所述光学测量装置的操作。 |
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