| 集成射流系统用于气相色谱 |
| WOUS14038421 2014-5-16 发明申请 |
| 2014-11-20 |
| 一种方法是给出了用于制造一种射流系统用于气相色谱仪。该方法包括 : microfabricating的一个部分一一基板上气相色谱仪的流控系统使用一第一掩模，microfabricating所述流体的一部分所述气相色谱仪的系统使用一第二掩模，和microfabricating所述的流体系统的一部分所述气体使用第三掩模相色谱仪，使得第一掩模，第二掩模及第三掩模是不同的从每个所述的流体系统的其它和所述microfabricating所述气相色谱仪是使用仅完成第一，第二和第三掩模。 |
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