| 一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统 |
| CN202011443087.1 2020-12-11 发明申请 |
| 2021-4-23 |
| 本发明公开了一种用于电子气体一氟甲烷中的杂质组分分析系统，包括第一切换阀、第二切换阀、第三切换阀、第四切换阀、第五切换阀，第一定量环、第二定量环、第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱、第四色谱柱、第五色谱柱、第一针型阀、第二针型阀、第三针型阀、第四针型阀、第一脉冲放电氦离子化检测器和第二脉冲放电氦离子化检测器。本发明，可以检测一氟甲烷中的氢气、氧气、氩气、氮气、甲烷、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、乙烷、乙烯、三氟甲烷、丙烷、丙烯组分，检测限可达ppb级别。 |
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