| 一种半导体芯片的扫描电镜装置 |
| CN202223314869.2 2022-12-9 实用新型 |
| 2023-3-28 |
| 本实用新型提供一种半导体芯片的扫描电镜装置，包括：电子枪；聚焦组件，设置于电子枪的电子束的发射端；承载平台，位于聚焦组件聚焦处理后的电子束所在的直线路径上，承载平台用以承载晶圆，晶圆上布置多个芯片；检测探头组，包括多个检测探头，检测探头组位于承载平台的一侧，以收集芯片激发的电子信号；以及弧形基座，安装检测探头组，弧形基座的凹部开口朝向承载平台。本实用新型可提高半导体芯片的线宽测量精度。 |
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