| 扫描隧道显微镜和方法 |
| JP2021149636 2021-9-14 发明申请 |
| 2023-3-27 |
| 要解决的问题：提供一种可以原子分辨率观察的扫描隧道显微镜。 解决方案：一种扫描隧道显微镜，用于检测通过对样品进行光激发而诱发的隧道电流(即光电流)，包括：定位装置，用于将探针21定位在与样品S分离的方向上; 照射部，用于向支撑在基板上的样品施加激发光; 以及检测部，用于在基板和探针之间施加偏置电压Vb，以检测在基板和探针之间流动的隧道电流。 由此，扫描隧道显微镜可以使照射部分将激发光施加到支撑在基板上的样品，使检测部分使用定位在基板上的探针并检测在探针和面对其的样品的局部区域之间流动的隧道电流，并且此时，在基板和探针之间施加偏置电压或通过光照射产生定域等离激元P，从而能够通过定域等离激元和样品之间的相互作用来增加光电流。 选图：图1B版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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