| 一种氟气及氟化物分析系统及方法 |
| CN202210786273.8 2022-7-4 发明申请 |
| 2022-11-8 |
| 本发明提供一种氟气及氟化物分析系统，包括：取样模块，所述取样模块用于提取待检测的样品；六通阀，所述六通阀的输出端通过混合三通连接有反应器，所述取样模块的中提取的样品通过六通阀输送至反应器，所述反应器的输出端连接有四通阀；所述四通阀的输出端连接有色谱柱一和色谱柱二，所述色谱柱一的输出端连接有分子筛柱，所述分子筛柱与色谱柱二的输出端连接有TCD检测模块。本发明提供的氟气及氟化物分析系统及方法，使用H2作为氟气的反应器，F2与氢气反应剧烈，生成HF，通过检测气路中氢气的减少量，即可推算得到F2的浓度，同时由于去 |
微信公众号