| 扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜 |
| CN202222807863.2 2022-10-24 实用新型 |
| 2023-3-24 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜背散射探头的安装结构和具有其的扫描电镜，所述扫描电镜背散射探头的安装结构包括：下极靴；第一安装板，所述第一安装板与所述下极靴的下表面贴合；第二安装板，所述第二安装板可拆卸地安装在所述第一安装板上；探头，所述探头设在所述第一安装板和所述第二安装板之间；弹性件，所述弹性件分别与所述下极靴和所述第一安装板相连，所述弹性件常驱动所述第一安装板贴合所述下极靴的下表面。根据本实用新型实施例的扫描电镜背散射探头的安装结构具有拆装方便、可靠性强等优点。 |
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