一种电子级多晶硅尾气吸收的控制系统
 
CN201720109977.6  2017-2-6  实用新型

2017-8-29
 
  本实用新型公开了一种电子级多晶硅尾气吸收的控制系统,包括:吸收塔、解吸塔、第一在线色谱仪、第二在线色谱仪和DCS控制系统,通过在解吸塔底部出口管上设置第一控制点,在吸收塔顶部出料管上设置第一控制点,通过三通引出少量物料向在线色谱仪进料获得检测结果Q1和Q2,Q1和Q2输入DCS控制系统,以串级控制的方式对解吸塔回流管线上的气动阀进行控制,以控制解吸塔的回流比,提高回收氢气的质量。通过本控制系统,可以使吸收塔对于氢气物料中HCL等杂质的吸收效果稳定有效,不会对后续吸附塔中吸附提纯效果造成影响,进而能够产出纯
 
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