| 扫描探针显微镜 |
| WOJP22011934 2022-3-16 发明申请 |
| 2023-3-23 |
| 控制装置进行如下控制：一边确认光学显微镜的焦点，一边使光学显微镜从初始位置移动到使光学显微镜聚焦于观察对象物(悬臂或试样)的位置(S2)； 存储能够在使光学显微镜聚焦的状态下确定光学显微镜与观察对象物的相对位置的信息(S3)； 如果要将光学显微镜重新聚焦在观察对象(悬臂或样品)上，则基于所存储的能够指定相对位置的信息，将光学显微镜移动到该相对位置(S7); 然后一边确认焦点一边移动光学显微镜，至使光学显微镜聚焦于观察对象物(悬臂或试样)的位置(S8)。 |
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