| 一种层析显微镜的色差校正方法 |
| CN202211489125.6 2022-11-25 发明申请 |
| 2023-3-21 |
| 本发明涉及光学成像技术领域,具体涉及一种层析显微镜的色差校正方法,包括如下步骤:S1:在显微镜的成像光路上加入二次相位光栅、闪耀光栅、反射镜和筒镜;其中闪耀光栅包括与二次相位光栅的衍射级对应的多个部分;S2:将待观察样本置于显微物镜的物方焦平面处,将二次相位光栅置于显微物镜的像方焦平面处;S3:入射光先通过显微物镜再依次进入二次相位光栅、闪耀光栅、反射镜和筒镜内,最后在CCD探测器上成像;二次相位光栅处的光波分成三束衍射光波并分别投射至闪耀光栅的上部、中部和下部,通过色散相减方式实现色差的校正。本发明结构简单、制造成本低,色差校正效果好,光波的投射能量高。 |