一种气质联用真空腔体
 
CN201721283996.7  2017-10-1  实用新型

2018-8-31
 
  本实用新型公开了一种气质联用真空腔体,真空腔体为具有两端开口腔室的长方体结构,真空腔体的第一侧壁包括用于安装离子源传电触头的传电触头安装孔,用于安装真空规的真空规安装孔以及用于安装电子倍增管的倍增管安装孔;与第一侧壁相对的第二侧壁包括用于气安装相色谱与质谱传输装置的传输装置安装孔;位于第一侧壁和第二侧壁之间的第三侧壁上设置有用于安装分子泵的分子泵安装孔;第四侧壁包括用于安装调谐阀组件的调谐阀安装孔; 本实用新型公开的气质联用真空腔体,真空腔体设计比较小巧,各组件装配安装孔布局合理,使得真空腔体内部体积压缩
 
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