| 基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置 |
| CN202211453317.1 2022-11-21 发明申请 |
| 2023-3-21 |
| 本申请提供了一种基于设计版图的扫描电子显微镜图像缺陷分类方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，该方法包括：获取扫描电子显微镜图像；基于扫描电子显微镜图像利用缺陷识别方法获取扫描电子显微镜图像的缺陷信息；其中，缺陷信息包括：缺陷位置信息、缺陷周边图形分组信息以及缺陷位置版图上下层连接关系信息中的至少一种；基于缺陷信息对缺陷进行分类。本申请能够有效地提高缺陷分类的准确率。 |
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