| 一种适用于电子显微镜的多功能样品仓系统及仿真方法 |
| CN202211489995.3 2022-11-25 发明申请 |
| 2023-3-10 |
| 本发明涉及光学检测设备技术领域，尤其是一种适用于电子显微镜的多功能样品仓系统及仿真方法，该多功能样品仓系统的仿真模拟结构设置在扫描电子显微镜腔室内，且所述仿真模拟结构内部腔室与扫描电镜真空腔室隔绝，通过调节仿真模拟结构内部腔室的模拟环境，并对较大尺寸材料样品进行载荷，在不接触较大尺寸材料样品情况下对样品实时动态的原位观察和数据采集，达到较大尺寸材料样品的性质变化全过程检测。本发明的系统具有结构简单、使用方便，用以更加真实的仿真材料的应用环境，并且能够实施任何组织及情况下的全过程的微观检测。同时该结构开有较大尺寸观察窗，该观察窗允许电子束信号穿过，从而达到较大尺寸材料性质变化全过程检测的目的。 |
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