| 扫描型电子显微镜系统 |
| JP2023005964 2023-1-18 发明申请 |
| 2023-3-10 |
| 要解决的问题：防止在用偏转器组收集和分析的电子束中出现偏转像差。 解决方案：一种扫描型电子显微镜(SEM)系统，包括配置成产生主电子束的多个电子束源，以及具有多个电光列的电光列阵列。 电光列具有电光元件。 电光元件包括被配置为由至少一些电光列共享的公共控制器驱动的偏转器层，并且包括被配置为由单独的控制器驱动的修整偏转器层。 电光元件被布置成形成电子束通道，并且电子束通道被配置成将主电子束引导到固定在平台上的样本上。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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