| 流量控制器，以及与该气相色谱仪 |
| JP2015108728 2015-5-28 发明申请 |
| 2016-12-28 |
| 本发明的课题是高流量控制器，以及与气相色谱仪。[解决方案]81载气控制器，通道构件811设置。所述流路部件811，1部分21和第二，第一的上端部22和第二提供水平延伸部分21 : 1 : 2。第一，22，2，气体出口26形成。控制器82可以是气体h2，与流路部件(821)。所述流路部件821，所述部分51和第一1，第二，2，151，52，第二的上端部水平延伸部设置。第二部分52为2，气体出口56形成。因此，气体出口(26)的工作空间可充分地固定。此外，气体出口(56)的工作空间可充分地固定。即，81和载气 |
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