| 用于大样品的加速显微镜检查的方法 |
| EP21722792 2021-4-27 发明申请 |
| 2023-3-8 |
| 一种用于采集大于显微镜的视场的样本的显微镜图像的方法，所述方法包括：在样本和显微镜之间产生连续的相对移动，其中显微镜物镜的光轴基本上垂直于所述相对移动的矢量，通过所述显微镜物镜照射所述样本的一部分，其中所述样本的被照射的部分小于所述视场并且形成照射狭缝，在扫描方向上移动所述照射狭缝，所述扫描方向穿过所述视场， 以及检测由所述显微物镜收集的来自所述样品的光，其中，在所述照明狭缝跨所述视场移动的同时，所述样品在与所述扫描方向相同的方向上或在与所述扫描方向垂直的方向上移动。 |
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