| 一种扫描电镜原位加热和电学测试装置及方法 |
| CN202211477044.4 2022-11-23 发明申请 |
| 2023-3-7 |
| 本发明提供一种扫描电镜原位加热和电学测试装置及方法，装置包括丁字样品台，原位加热和电学测试芯片，探针卡，导线，含BNC接口的真空法兰，信号源表，插针，固定螺柱；原位加热和电学测试芯片置于丁字样品上；探针卡按压接触原位加热和电学测试芯片上的加热电极和测试电极并引出导线同时固定原位加热和电学测试芯片；固定螺柱将探针卡固定在丁字样品台上；含BNC接口的真空法兰通过导线连接探针卡和信号源表。本发明提供扫描电镜原位加热、电学测试和微结构观察的功能，具备快速升降温、热飘移和电磁干扰低等优势，为微纳米材料性能测试提供平台，为透射电镜样品初步筛选提供实验平台。 |
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