| 一种低电子束轰击速度的扫描电子显微镜 |
| CN202211655163.4 2022-12-21 发明申请 |
| 2023-3-7 |
| 本发明公开了一种低电子束轰击速度的扫描电子显微镜，包括电子束发射装置、镜筒、电子束减速机构、高电压箱和连接架机构，所述电子束发射装置用于朝向特定方向发射高压电子束；所述镜筒位于所述电子束发射装置的下方，并且所述镜筒的内侧用于汇聚所述电子束发射装置发射的电子束；所述连接架机构设置在所述镜筒的外侧并与所述电子束发射装置连接，其用于调整所述电子束发射装置发射电子束进入所述镜筒内侧的角度；通过在镜筒和电子束发射装置之间设有连接架进行连接，可通过连接架快速调整电子束发射装置与镜筒的间距，从而在保持电子束发射角度的情况下进行快速的调整加速区，另外，也可通过连接架调整电子束发射的角度。 |
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