| 光学微纳天线探针、探针组件、纳米红外光谱仪及散射型扫描近场光学显微镜 |
| CN202110996148.5 2021-8-27 发明申请 |
| 2023-3-3 |
| 本公开提供一种光学微纳天线探针、探针组件、纳米红外光谱仪及散射型扫描近场光学显微镜。该光学微纳天线探针包括针体和复合层，针体的至少部分表面被复合层覆盖；复合层包括层叠的第一针体覆盖层和第二针体覆盖层，第一针体覆盖层位于针体和第二针体覆盖层之间；第一针体覆盖层的材料包括光学介电材料；第二针体覆盖层的材料包括石墨烯。本公开的光学微纳天线探针可作为纳米红外光谱探针，用于纳米红外光谱仪；亦可作为散射型近场光学显微镜探针，用于近场光学成像。本公开的光学微纳天线探针可以是增强纳米红外光谱和近场光学成像检测灵敏度的扫描探针显微镜探针。 |
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