| 扫描电子显微镜 |
| CN202211477788.6 2022-11-23 发明申请 |
| 2023-3-3 |
| 本发明公开了一种扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜包括钨灯丝电子枪、电压管、磁透镜和样品台。钨灯丝电子枪包括阴极，阴极连接负电位，负电位为对地负电压；电压管与钨灯丝电子枪间隔设置，电压管内形成有通道，通道供钨灯丝电子枪发出的电子束通过，电压管连接正电位，正电位为对地正电压；磁透镜环绕在电压管外，用于对电子束进行会聚；样品台设置在电压管背离钨灯丝电子枪的一侧，用于承载样品。电压管连接正电位，电压管和阴极之间形成较大的电场，使得钨灯丝电子枪的灯丝尖端表面的具有较高的场强，从而克服空间电荷效应对束流亮度的限制，从而显著地提高束流亮度，进而提升基于钨灯丝作为电子源的扫描电子显微镜的分辨率。 |
微信公众号