| 扫描电子显微镜 |
| JP2021132241 2021-8-16 发明申请 |
| 2023-3-1 |
| 所要解决的问题：提供一种能够容易地确定隔膜清洗的时机和隔膜更换的时机的扫描型电子显微镜。 解决方案：根据本发明的扫描电子显微镜包括发射电子束的电子枪、具有允许电子束的一部分通过的光圈孔的光圈、聚焦电子束以形成电子探针的透镜、通过用电子探针扫描样品来检测从样品发射的电子的检测器， 以及处理部，其取得利用所述检测器检测电子而得到的扫描电子显微镜图像，并基于该扫描电子显微镜图像求出所述电子探针的直径的推定值。 选图：图2版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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