| 用于电子显微镜中的X射线的转移光学器件 |
| DE102021213930 2021-12-8 发明申请 |
| 2023-2-16 |
| 本发明涉及一种用于材料分析的方法和为此目的的透射电子显微镜(1)，该透射电子显微镜具有电子源(2)和电子沿其运动的射束路径(3)，其中在射束路径(3)中布置有用于接收样品(6)的样品架，该样品架可由电子照射， 其中，透射电子显微镜(1)包括用于在电子与样品(6)的相互作用中产生X射线的传递光学器件(10)，该传递光学器件可以布置成使得传递光学器件(10)将样品架的位置处的对象侧焦点映射到布置有X射线检测器的传感器的图像侧焦点中。 |
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