| 磁场产生装置及具有其的原子力显微镜 |
| KR1020210102185 2021-8-3 发明申请 |
| 2023-2-13 |
| 公开了一种磁场产生装置和具有该磁场产生装置的原子力显微镜，其目的在于用于映射样品表面的磁特性的磁力显微镜(MFM)模式，以及具有该磁场产生装置的原子力显微镜。 根据本发明的实施例，所述原子力显微镜包括：头部，所述头部具有用于扫描测量目标的表面的悬臂； 以及磁场产生装置，所述磁场产生装置被配置为通过安装在所述头部上而至少在所述悬臂和所述测量目标的表面上形成磁场。 所述磁场产生装置包括：第一极靴； 第二极片，其与所述第一极片分开，其中部具有所述悬臂； 第三极片，所述第三极片被布置成与所述第一极片和所述第二极片磁性连接； 设置在所述第一极靴和所述第三极靴之间的固定磁铁； 以及旋转磁体，所述旋转磁体可旋转地布置在所述第二极靴和所述第三极靴之间。 所述磁场产生装置被配置为使得能够通过所述旋转磁体的旋转来控制所述第一极靴与所述第二极靴之间的磁力。 因此，可以获得高质量的磁作图信息.版权KIPO 2023 |
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