| 用于SEM(扫描电子显微镜)设备的测量误差检测方法和对准方法 |
| KR1020210102668 2021-8-4 发明申请 |
| 2023-2-13 |
| 本发明提供一种扫描电子显微镜(SEM)设备的测量误差检测方法，其能够精确地比较和对准设计图像和SEM图像，并且精确地检测SEM设备中的测量误差，以及一种SEM设备的对准方法，其能够基于检测到的测量误差精确地对准SEM设备。 所述测量误差检测方法包括：利用SEM设备获取测量目标的SEM图像的步骤； 对所述SEM图像和对应的设计图像进行所述前处理的工序； 从所述SEM图像中选择用于所述训练的训练用SEM图像的步骤； 利用与所述训练SEM图像对应的训练设计图像进行所述训练，生成SEM图像与设计图像的转换模型的步骤； 使用所述转换模型将所述SEM图像转换为转换后的设计图像的步骤； 将转换后的设计图像与对应的设计图像进行对比对齐，提取对齐坐标值的步骤； 以及基于所述对准坐标值确定所述SEM装置的测量误差的步骤.版权KIPO 2023 |
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