| 用于减小透射电子显微镜系统中的充电效应的系统和方法 |
| US17392758 2021-8-3 发明申请 |
| 2023-2-9 |
| 根据本公开的用于在使用带电粒子束的样品的研究期间减少电荷的累积的系统和方法包括在第一时间段期间照射样品的第一部分，其中所述照射所述样品的第一部分引起所述样品的第一部分中的净电荷的逐渐累积，基于由照射所述样品的第一部分产生的发射来生成成像数据，并且然后在第二时间段内照射样品保持器的第二部分。 所述方法可以进一步包括在所述样品区域的成像期间迭代地重复所述第一部分和所述第二部分的照射。 当要研究样品上的多于一个感兴趣区域时，该方法还可以包括通过迭代地照射样品上的感兴趣区域和样品架的相应部分来继续对样品的附加部分成像。 |
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