扫描电子显微镜多样品装载组合装置
 
CN202222120301.0  2022-8-12  实用新型

2023-2-3
 
  本实用新型涉及检测设备领域,特别涉及扫描电子显微镜多样品装载组合装置,包括样品基座及插设于所述样品基座上的样品台,沿着所述样品台边沿插设有多个样品支座;样品支座的内端插入样品台,样品支座的上表面开设有竖向凹槽,竖向凹槽的一端穿出样品支座的外端,样品支座的外壁设有第一斜面和第二斜面,第一斜面和第二斜面分别位于竖向凹槽的两侧,第一斜面和第二斜面的上沿分别延伸至竖向凹槽的槽口。与现有技术相比,本实用新型结构合理,可以通过多个样品台同时装载多种样品进行观察,同一样品支座上的竖向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌,提高了观测效率。
 
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