| 一种用于空气敏感样品的扫描电镜进样保护装置 |
| CN202222446200.2 2022-9-15 实用新型 |
| 2023-2-3 |
| 本实用新型公开了一种用于空气敏感样品的扫描电镜进样保护装置，包括套筒、套筒旋盖、弹簧室、压缩弹簧、样品舱、样品室、叉形挡板、观察窗口和固定底座等部分。样品舱借助两侧的阻力胶塞气密地密封于套筒内，其内设有装载待测样品的样品室；压缩弹簧为样品舱提供驱动力，叉形挡板使样品舱在进样前处于静止密封状态。进样时，将在手套箱中完成组装的套筒借助固定底座固定于电镜样品台上。在电镜抽真空前抽出叉形挡板，样品舱将在密封状态下受弹簧驱动缓慢向套筒上镂空的观察窗口运动，待电镜处于高真空时，样品舱运动至观察窗口下方，随即进行正常测试。该装置可确保进样时样品始终不与空气接触，从而简便、有效地实现空气敏感样品的无损进样。 |
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