| 自旋偏振扫描电子显微镜 |
| WOJP21028244 2021-7-30 发明申请 |
| 2023-2-2 |
| 为了提供一种能够提高被检测信号的SNR的自旋偏振扫描电子显微镜，该自旋偏振扫描电子显微镜的特征在于，包括：自旋偏振电子源，其向样品照射自旋在特定方向上偏转的自旋偏振电子束； 扫描部，其使所述自旋偏振电子束偏转而对所述样品进行扫描； 自旋检测器，其检测发射电子的自旋方向，所述发射电子是从用自旋偏振电子束扫描的样品发射的电子； 以及控制单元，其基于自旋偏振电子束的自旋方向，控制要由自旋检测器检测的自旋方向。 |
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