| 一种适用于扫描电镜的自开合真空转移装置 |
| CN202211107028.6 2022-9-8 发明申请 |
| 2023-1-31 |
| 本发明涉及材料观测技术领域，且公开了一种适用于扫描电镜的自开合真空转移装置，密封仓门的内侧壁靠近底部位置处设置有主弹簧，主弹簧上远离密封仓门的一端固定连接有主弹簧卡扣机构，主弹簧卡扣机构的一端设置有次级真空腔，次级真空腔的外侧壁上固定连接有主轴套管，主弹簧卡扣机构的一端设置有压差作动活塞，压差作动活塞设置于主轴套管的内部，主轴套管的内部设置有活塞复位弹簧，次级真空腔外侧壁上固定连接有单向空气阀。该适用于扫描电镜的自开合真空转移装置，通过转移仓体全程对空气敏感样品的密封保存，从而大大提高了空气敏感样品的重复利用率以及安全保存性。 |
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