| 原子力显微镜的校准标片 |
| CN202222328192.1 2022-9-2 实用新型 |
| 2023-1-31 |
| 本实用新型涉及一种原子力显微镜的校准标片，原子力显微镜的校准标片包括本体。本体设有第一表面。第一表面上设置有至少一个标准单元，标准单元为第一表面朝向本体的内侧方向凹设形成的凹部，台阶面在环绕凹部的中心轴线上的各个部位宽度保持一致。在对原子力显微镜定期执行校准，或执行异常调查时进行校准纠偏，用AFM移动探针到对象标准单元的中心点，通过读取深度值和坐标值来判断位置精度和测量精度是否准确。这样AFM探针的深度测试值若与预设值存在偏差时，表明测量位置不准确，根据深度测试值与预设值能得到位置精度值，位置测量精度相对提高，即可以按照标准片设定的位置精度和深度精度，来校准原子力显微镜的量测位置和量测结果。 |
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