| 一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统 |
| CN201821298555.9 2018-8-13 实用新型 |
| 2019-1-22 |
| 本实用新型公开了一种用于电子工业用气体三氯化硼分析的色谱取样系统，包括氦气置换系统、文丘里真空泵系统以及色谱前处理系统；所述氦气置换系统包括氦气进口、开关阀a、开关阀b以及四通阀；所述文丘里真空系统包括文丘里真空泵、氮气进口以及废气出口，所述氮气进口与所述废气出口均与所述文丘里真空泵气路连接，所述文丘里真空泵通过开关阀d与所述三通阀b气路连接，本实用新型针对三氯化硼遇水分解问题，采用超纯氦气进行置换和吹扫进样管路，并对系统抽真空，通过吹扫?真空置换几次后能够使进样系统的水分降至0.1ppm以下，针对三氯化 |
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