| 电子显微镜和检测单元 |
| JP2021112081 2021-7-6 发明申请 |
| 2023-1-19 |
| 要解决的问题：直接检测在样品室中产生的气体闪烁光。 解决方案：光电倍增管32的入口窗34暴露在样品室16内。 电极36靠近入射窗34设置。 向电极36施加高电压，其产生吸引电子的电场。 来自从样品26发射的电子的气体闪烁光不通过导光部件而到达光电倍增管32的入射窗34。 检测器单元28具有保持光电倍增管并在入射窗34和电极36之间限定间隙的结构。 选图：图1版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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