| 扫描电子显微镜 |
| JP2021110115 2021-7-1 发明申请 |
| 2023-1-18 |
| 所要解决的问题是提供一种扫描电子显微镜，利用该扫描电子显微镜，可以在样品的宽范围内获得目标物质的位置信息。 解决方案：扫描电子显微镜包括处理单元，该处理单元用于使存储单元基于X射线检测器的X射线检测结果来存储被检测元件的位置信息。 处理部进行接受目标物质的指定的处理、控制试样台并变更试样位置的处理、控制照射光学系统并在试样位置对试样照射电子束的处理、基于X射线检测器的X射线检测结果来判定是否检测到目标物质的处理、以及在判定为检测到目标物质的情况下使存储部存储试样位置的处理。 选图：图2版权：(C)2023, JPO&INPIT |
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