| 用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质 |
| CN202211388684.8 2022-11-8 发明申请 |
| 2023-1-17 |
| 本申请提出一种用于扫描电镜的定位方法、装置、电子设备及存储介质，涉及扫描电镜技术领域。该方法包括：获取待测样品位于目标拍摄位置的初始图像；确定初始图像中的样品杯和待测样品的位置信息；根据样品杯和待测样品的位置信息及相机的标定参数，确定第一坐标改正量；获取目标观测点的像素坐标及在第二坐标系中的目标位置坐标；根据像素坐标、第一坐标改正量及相机的标定参数，确定目标观测点在第二坐标系中的初始位置坐标；根据位置坐标控制样品台移动。本申请通过采集待测样品的图像，并根据目标观测点的像素坐标及图像相关信息，确定目标观测点的真实位置信息，实现样品观测点的准确、快速定位，有效提高了扫描电镜的观测效率。 |
微信公众号