可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台
 
CN202222018767.X  2022-8-2  实用新型

2023-1-13
 
  本实用新型属于扫描电镜样品台技术领域,涉及可连续调节被观测样品断面角度的扫描电镜样品台。包括基台、断面样品固定台、活动支撑块、铰接件、螺杆、铰轴Ⅰ和铰轴Ⅱ,断面样品固定台与基台连接在一起构成连接副,活动支撑块与铰接件连接在一起构成另一连接副,螺杆与基台、铰接件配合连接,与活动支撑块与断面样品固定台接触连接。本实用新型通过调节螺杆的上下移动,可连续调节断面样品固定台的角度,进而连续调节粘附在断面样品固定台上样品的角度,使样品断面能够保持水平状态,保证扫描电镜发射的电子束能够垂直样品断面,得到的样品形貌成像清晰,表征真实,突破了现有样品台中断面样品固定台角度不能连续调节的局限,科研效率高。
 
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