| 一种氩气提纯设备 |
| CN202122271416.5 2021-9-18 实用新型 |
| 2022-2-8 |
| 本实用新型公开了一种氩气提纯设备，包括提纯设备本体，所述提纯设备本体包括原料氩气源及与该原料氩气源依次管道连接的纯化器、缓冲罐及配气瓶，且所述原料氩气源、纯化器及缓冲罐之间的连接管路上均设置有开关阀，所述缓冲罐与配气瓶之间设置有开关阀及第一电磁阀；所述纯化器与缓冲罐之间的连接管路上设置有带开关阀的支路管道，该支路管道上设置有气相色谱仪及报警器，所述缓冲罐的出口管路与纯化器的进口管路之间连通设置有回流管路，该回流管路上设置有开关阀及第二电磁阀；所述气相色谱仪通过控制模块分别与第一电磁阀和第二电磁阀信号连接， |
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