| 扫描电子显微镜和物镜 |
| EP22180336 2022-6-22 发明申请 |
| 2023-1-11 |
| 提供了一种扫描电子显微镜，其具有能够被抽空到低真空的样品室。 扫描电子显微镜(100)包括：电子枪(10)，用于发射电子束; 物镜(40)，用于将所发射的电子束聚焦到样品(S)上; 以及样品室(4)，其中容纳样品(S)。 物镜(40)包括内极片(402)、设置在内极片(402)外侧并面向样品室(4)的外极片(404)、延伸穿过内极片和外极片(402、404)的至少一个通孔(408a)、以及封闭通孔(408a)的至少一个盖部件(410a)。 所述内极片(402)与所述外极片(404)之间形成有开口(8)。 物镜(40)使磁场从开口(8)向试样(S)泄漏。 样品室(4)的真空度低于在内部电极片(402)内部形成电子束路径的内部空间(6)中的真空度。 |
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