| 物镜和扫描电镜 |
| CN202211223224.X 2022-10-8 发明申请 |
| 2023-1-10 |
| 本申请公开了一种物镜和扫描电镜。物镜包括透镜以及磁偏转器模组，透镜内设容置腔；磁偏转器模组位于容置腔与预设高度范围的交集中靠近透镜的主平面的一端，其中，在磁偏转器模组位于预设高度范围内时，磁偏转器模组的等效不动点位于透镜的主平面。本申请实施方式的物镜能够使得成像质量不变的情况下，扩大可用视场的范围，此外，在可用视场的范围不变的情况下，使得通过物镜的电子束的偏转轨迹更贴近中心轴线，由于中心轴线的近场均匀性优于远场，可以减轻偏转解聚效应，降低偏转像差，提高成像质量。 |
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