| 所述流量控制器使用气相色谱仪 |
| JP2015116674 2015-6-9 发明申请 |
| 2017-1-5 |
| 总载气流量控制器的流量能够精确测量[向]，利用气相色谱仪装置。[解决方案]的载气供给通道20和21，被设置在流道阻力，所述控制阀(24)，以及压力检测部(22)，一种差压检测部(23)上设有流量控制器60，第一组供压销，在全流量压差ΔP ftemp1ref1第一校准曲线关系，第一组供压销，ref1供给压力p为大于第二的付款期限，在全流量压差ΔP ftemp2ref2第二指示关联的校准曲线存储部(52)本发明提供供给压力检测的压力检测器22，销轴，所述压差检测压差ΔP个信息检测器23，第一曲线，第二曲线为基 |
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