| 扫描电子显微镜电子光学部件安装结构 |
| CN202221053154.3 2022-5-5 实用新型 |
| 2023-1-10 |
| 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜电子光学部件安装结构，包括镜筒和支架；镜筒内壁设置包括开设相对盲槽的两部分的两个支架安装部，盲槽内安装卡接弹性球，支架包括支架主体和上下两侧设置有球结合部的两个支架插接部，支架插接部插接在支架安装部的两部分之间，支架主体和镜筒之间连接90度分布的两个复位弹簧，镜筒上安装两个位置调节机构，抵接部分别与复位弹簧相对设置于支架主体两侧，调节机构的抵接部可在驱动部驱动下运动，该运动包括使抵接部从初始位置向压缩复位弹簧的方向推动支架主体和使抵接部返回初始位置。本实用新型能够实现在不拆卸的情况下对电子光学部件的位姿进行调整，可以避免对真空的破坏，并节约了时间与人力成本。 |
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