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气相色谱仪
US15815039 2017-11-16 发明申请
2019-5-16
当由柱流速计算单元计算的载气的流速被控制为第一流速时, 并且当将载气的流速控制为第二流速时, 载气的流量由整个流量检测单元检测,气体泄漏确定单元基于该流量确定载气的泄漏。 由于改变了载气的流量,使整个流量检测单元的检测值以不同的流量使用, 可以区分在整个流速检测单元的检测值中发生偏移的情况和发生载气泄漏的情况。 因此,令人满意地确定有无载气泄漏。
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