| 一种扫描电镜的调焦系统及方法 |
| CN202211103828.0 2022-9-9 发明申请 |
| 2023-1-6 |
| 本发明涉及扫描电镜技术领域，具体为一种扫描电镜的调焦系统及方法，包括聚光通道，聚光通道的顶部安装有电子枪，聚光通道的底部安装有底座，底座的一侧安装有探头，探头的外侧连接有视频放大器，视频放大器的外侧连接有第一显像管和第二显像管，聚光通道的内部上方设置有上聚光镜，聚光通道的内部下方设置有下聚光镜，聚光通道的外侧安装有焦距调节仓。该扫描电镜的调焦系统及方法中，把手带动焦距调节螺纹杆的转动，进而带动上聚光镜和下聚光镜之间距离的调节，进而保证焦距调节，通过样品升降螺纹杆带动升降板进行升降，进而带动样品台进行升降，从而保证样品的升降，实现焦距的进一步调节。 |
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