| 一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置 |
| CN202221564289.6 2022-6-21 实用新型 |
| 2022-12-30 |
| 本实用新型涉及芯片检测设备技术领域，公开了一种基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置，包括调节观测结构和显微镜观测结构，调节观测结构的上端位置处固定连接有显微镜观测结构，调节观测结构包括旋转台面、上台面、下台面、第一铰架和第二铰架，上台面的中心转动连接有旋转台面，上台面的侧端位置固定连接有第一铰架，第一铰架的底端位置与第二铰架相铰接设置，第二铰架的下端位置与下台面相固定连接。本实用新型为基于光学显微镜的芯片外观检测一体化装置，通过调节观测结构和显微镜观测结构的设置，实现芯片外观检测的目的。 |
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