| 用于刷新用于扫描探针显微镜设备的探针的方法和系统以及用于执行所述方法的计算机程序产品 |
| WONL22050356 2022-6-21 发明申请 |
| 2022-12-29 |
| 本发明涉及一种修整用于扫描探针显微镜装置的探针的方法，其中探针是用过的或损坏的探针，并且包括悬臂和探针尖端。 所述方法包括接收所述探针，确定所述探针的现有探针结构并映射所述现有探针结构以获得现有探针结构数据。 所述方法还包括基于现有探针结构数据，在所述探针的使用或损坏之前，识别与所述探针的原始探针结构的偏差。 基于所述偏差，将确定指示用于修整所述探针的结构修整的结构修整数据，并且，根据所述结构修整数据，将通过精密材料沉积工艺或精密材料去除工艺中的至少一种来修整现有探针结构，以用于执行所述探针的修整。 该方法还针对一种系统和用于操作系统的计算机程序产品。 |
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