| 电子显微镜及电子显微镜系统 |
| JP2021099864 2021-6-16 发明申请 |
| 2022-12-28 |
| “Challenge”提供一种适用于使用NanoSuit?法的电子显微镜观察的紧凑的电子显微镜，其能够以简单的操作在短时间内检测被检测物。本发明的电子显微镜100至少包括下述1)~4)，并且构成为通过在空间上遮挡电子枪单元110和样品室130来维持电子枪单元110内的真空度。 1)对检体TS照射电子束B的电子枪单元110; 2)检测通过从电子枪单元110射出的电子束B照射检体TS而产生的来自检测对象的背面散射电子或二次电子的检测器单元120; 3)能够收容检测器单元120和检体TS，并且，在检测检体TS中的被检测对象时，能够调整至100帕以下的真空度的样品室130构成; 4)从电子显微镜外的大气压条件下将检体TS导入样品室130的样品架140。[选择图]图1 |
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