| 用于制造一种集成过程HPLC柱或一毛细管柱通过气相色谱在一种钛基材 |
| DE102007050873 2007-10-24 发明授权 |
| 2012-3-1 |
| 用于制造一种集成过程HPLC柱或一毛细管柱通过气相色谱在一种钛基材(120)，其具有所述以下步骤 : 单独一个硬掩模层(415)在所述的钛基板(120); 施加一个光抗蚀剂层(420)在所述硬掩模层(415); 结构的光抗蚀剂层(420); 将驱动通过一RIE腐蚀在所述掩蔽硬掩模层(415)，在顺序以形成一个在形成所述集成的HPLC柱或毛细管柱通过气相色谱结构化的硬掩模，其中所述形成覆盖弯曲部分; 除去用于所述结构化的光抗蚀剂层(420); 腐蚀所述的集成HPLC柱或毛细管柱通过气相色谱通过所述硬掩模和在 |
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