| 一种物镜及环境扫描电镜 |
| CN202211347606.3 2022-10-31 发明申请 |
| 2022-12-27 |
| 本发明涉及电子显微成像技术领域，提供了一种物镜及环境扫描电镜，该物镜至少包括：上极靴，具有连接部与工作部，工作部具有中空的容纳腔，适于形成电子束通道；下极靴，与连接部相连，且工作部至少部分插置在下极靴内，下极靴的内侧壁与工作部的外侧壁之间的区域形成过渡真空区；下极靴的侧壁上设置有第一抽气孔，适于通过第一抽气孔对过渡真空区进行抽真空；密封结构，设置在下极靴远离上极靴的一端，以将电子束通道与过渡真空区相隔开，以及将过渡真空区与外部环境相隔开；密封结构具有气体通道以及使电子束通过的第一通孔，气体通道连通第一通孔与过渡真空区。该物镜，扫描过程中更容易维持电子束通道的高真空度，从而提高扫描效果。 |
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