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扫描电镜
CN202221840399.0 2022-7-15 实用新型
2022-12-23
本实用新型公开了一种扫描电镜,包括:导轨、支架、负载台、驱动件,所述支架与所述导轨相连并沿所述导轨可移动,所述负载台支撑于所述支架上;所述驱动件与所述支架传动连接,以驱动所述支架移动,所述驱动件与所述导轨沿垂直于所述导轨的方向相对设置。通过应用上述技术方案,驱动件可以设于导轨侧边,可以提高空间利用率,提高扫描电镜的紧凑性。
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