| 一种基于扫描探针显微镜的原位光电测试系统 |
| CN202222501104.3 2022-9-21 实用新型 |
| 2022-12-23 |
| 一种基于扫描探针显微镜的原位光电测试系统，涉及一种原位光电测试系统。本实用新型是要解决目前近场光学显微镜只能用于收集光束获得材料的光谱信息，缺少捕捉微弱电流信号的功能，不能对激光诱导的电荷产生和输运性能进行测试，无法实现高分辨率下光电性质的测量的技术问题。本系统由两个子系统组成，即扫描探针显微镜系统和引光系统；其中扫描探针显微镜系统能够用于表面形貌成像，表面电势分布成像，表面导电率成像；引光系统能够引入激光聚焦在样品表面激发，收集激光光斑的位置信息，激光聚焦位置可以精准地调节，激光可选，激光功率可调。 |
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