| 一种用于近常压扫描隧道显微镜的扫描头 |
| CN202211172526.9 2022-9-26 发明申请 |
| 2022-12-20 |
| 本发明涉及一种用于近常压扫描隧道显微镜的扫描头，属于近常压扫描隧道显微镜的技术领域。包括扫描管、固定限位环和扫描头主体；扫描头主体包括驱动马达、支架和中心步进杆：扫描头主体还包括压电马达、蓝宝石片、导轨、红宝石球和铍铜弹片；支架的材料为镍铁合金；压电马达由四片压电陶瓷片堆叠组成，且固定安装于支架内；导轨为槽钢状，导轨的槽口与中心步进杆的杆身贴合；红宝石球位于导轨中部的通孔处，红宝石球的外侧被铍铜弹片顶住固定，对导轨施加压力；导轨和中心步进杆通过红宝石球、铍铜弹片夹持，保证中心步进杆在运动过程中与导轨的适应性；中心步进杆的材料和导轨的材料均为蓝宝石。本发明结构紧凑、稳定，寿命能达到5?10年。 |
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